Capteur piezo mince 3 μm
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Synthèse de l'invention
Une des difficultés de la méthode est de pouvoir transformer le signal acoustique en signal électrique avec une forte sensibilité. L’invention repose sur une nouvelle approche pour cette transformation. Un capteur piézoélectrique mince réalisé avec un film de fine épaisseur pour remplacer les capteurs classiques plus épais. Il existe plusieurs problèmes à utilisation d’un film fin comme capteur : fragilité, problème de température de recuit après dépôt (PVDF) et perte de sensibilité. L’invention propose une combinaison astucieuse du détecteur acoustique. La partie absorbeur est d’une épaisseur à la fois fine (faible atténuation) et suffisamment épaisse (rôle de ligne à retard) pour conserver une bonne sensibilité et améliorer la résolution.
Avantages technologiques
Efficace et robuste
- Optimisation de la technique de mesure de charge d’espace PEA.
- Le capteur transforme le signal acoustique en signal électrique en gardant une forte sensibilité malgré l’amincissement en améliorant ainsi la résolution spatiale.
Innovant
- Capteur piézoélectrique plus mince que les capteurs classiques.
Bénéfices commerciaux
- Haute résolution et mesure sur diélectrique
- mince de 20 à 50 μm.
- Plus robuste.
- Forte sensibilité.
- Protype existant utilisable en industrie.
Applications potentielles
- Détection des charges statiques : industries pharmaceutiques, cosmétiques, production de films plastiques, isolants pour les câbles, etc.
- Mesure haute résolution de propagation ou d'atténuation acoustique jusqu'à des structures minces (<100μm)
- Toutes utilisations de capteurs Piezo